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    高温石墨化炉

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    高温石墨化炉

    • 所属分类：真空烧结炉

    • 点击次数：
    • 发布日期：2024/06/15
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    详细介绍

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           用于碳碳复合材料、石墨软毡、石墨硬毡的高温石墨化处理或其他产品的高温烧结处理。高温纯化炉是将石墨制品、石墨软毡、石墨硬毡或SiC粉体等通过高温焙烧和工艺气体定向流动，经过物理扩散、化学反应使杂质元素从基体中排出，形成灰分含量低（5ppmw）、金属含量降到PPB数量级，从而达到半导体晶体生长对石墨品质（或粉体原料）要求的工艺过程。

    采用OG真人专属超高温、大电流引电技术，能在2400℃条件下长时间稳定使用。

    规格

    温区尺寸（mm）

    最高温度（℃）

    压升率（Pa/h）

    极限真空度（Pa）

    RVSG-1316H

    φ1300*1600

    2400

    0.67

    0.5-500Pa

    RVSG-3126H

    φ3100*2600

    2400

    0.67

    0.5-500Pa

    RVSG-202048

    2000*2000*4800

    2400

    0.67

    0.5-500Pa

    RVSG-151520

    1500*1500*2000

    2400

    0.67

    0.5-500Pa


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